的分辨率,甚至还要继续上14nm的极紫外光。至于10纳米以下,可能人类的科技就已经研究出其他的加工方式了吧。
当然这些只是不准确的科普说法,如果具体要解释一下光波和刻蚀分辨率的关系,或者解释一下照准系统的最大分辨率概念之类的……
本书的长度恐怕会有些不足,以及略有骗稿费的嫌疑。虽然这些知识如果真的讲出来千字3分就太便宜了。本着经不轻传的道理(其实作者也不懂)就不多说了。
言归正传,涂岸北脑海中灵光一现,正是水的一种特性。那就是光通过液体介质后光源波长就会缩短。其缩短的倍率即为液体介质的折射率。也就是说光刻机的光源如果在照射到光刻胶之前先在水中穿行一次,就相当于换了一个更细的刻刀。
而水的折射率是1.44,当0.8微米波长的光线穿过水之后,0.8除以1.44岂不正是0.56微米?如果这项技术真的有可行性。那确实是可以在不提高精密制造水平的前提下,得到更高一代的芯片制程技术。
这么简单的原理,周硕当然不是第一个想到的。用水缩短光源的波长来提高制程工艺。是未来光刻机普遍采用的技术。也就是学名叫做沉浸式光刻机的设备。通过不断努力,未来