的团长,但整个调查团里看起来脸上最难看的,却是城三太郎和松田礼人。
“松田君,你看到那个了吗?”城三太郎悄悄的捅了捅松田礼人。抬了抬头向一侧的实验室里示意。
“那是?”松田礼人是通产省这次私下派出的公务员,毕竟不论是日本政府还是美国人,都会对中国的芯片制造技术程度感兴趣。如果想解除0.5微米芯片生产线的对华出口禁令,通产省是绝对绕不开的一座大山。
“很可能是铬原子沉积用到的高真空产生设备,这是纳米光栅研究的重要设备。”城三太郎作为尼康光学试验室的重要成员。对纳米光栅的研究当然不陌生。可以说光刻机主要部件光学镜头的分辨率,是和纳米光栅能够测量的极限有着直接关联的。能够在泛翰研究院看到纳米光栅的研究。这实在是让他吓了一跳。要知道纳米光栅使用的原子沉积设备,也只有英国剑桥和芬兰的beneq这两个机构能够提供。
即使最终调查结果表面,泛翰集团没有掌握0.5微米线的技术,尼康也有必要把其提升到值得关注的级别。愿意下力气去投资研究原子沉积和纳米光栅的机构,绝对是不能小看的对手。
“这应该是中国水平最高的实验室了吧?”松田礼人能被通产省派出