分辨率直接决定了光刻机的加工精度……”
陈辉说的这两点,倒也是周硕一直最为担心的地方。虽然从尼康得到了光刻机的全套技术资料、以及整条光刻机生产线,但镜片和自动化系统这两个核心,却不是有资料就能生产出来的。
国内的光学设备水平本来不算太低,毕竟0.8微米光刻机,就是用国内技术完成的。在有详细资料的情况下,提升一两代工艺水平问题不大。但自动化控制涉及到精密制造,这个就必须使用德国才能生产的高精度机床,国内还是一片空白。
“这里面最关键的就是自动化控制系统的精度,我们不是不能尝试生产高精度的机床,但这里涉及到了一系列的实验数据。”陈辉皱着眉头说道:“如果全部由我们自行试验得出,三、五个月总是需要的。但是这么久的时间,只怕阿斯麦也要掌握了沉浸式光刻的技术……”
沉浸式光刻并非是什么难以跨越的技术屏障,尼康能够在掌握防水光刻胶之后,就有信心拿出相应的设计方案。那么阿斯麦没理由会在这方面落后太多,三五个月已经是完善技术的极限了。
陈辉在对光机生产线的研究上绝对可以说是尽心尽力,但国内的技术基础水平实在太低,光是一个精密电机的制造就难倒了几