搭起了一个运输平台,起重吊车轰鸣着,将运输卡车上那个用一层层保温材料包裹着的设备箱缓缓吊起,平稳送上了二楼平台,随即设备箱被安装人员在平台上打开,将里面那台用一层层保温防尘膜裹紧的光刻机推到了滑轮台上,接着被小心地推进活动门,随着被多层薄膜裹得严严实实的两台光刻机前后消失在门内,大门缓缓合拢,工程师们鱼贯爬上平台,开始对大门与墙体接缝处进行密封施工。
康耀祥手拿对讲机发号施令:“设备一组各就各位,立刻对光刻间进行一级除尘,注意控温,三小时后摘除第一层防尘恒温罩,明天天亮之前要把所有防尘恒温罩摘除,明天一定要进入机位安装程序,绝不能耽误外方安装人员的工作日程!”
胡一亭在康耀祥身旁静静地看着他指挥,心中感慨良多:“这是属于我们重光自己的第一个0.35微米八英寸晶圆厂,今天终于落地了。重光第一晶圆厂!这只是个开始!”
康耀祥也感叹不已:“从1995年年底与cyrix敲定合资,到现在1997年一月最后也最重要的光刻机进场,浦海01厂的建设速度完全追平了西方大厂的建设周期,接下来一年我们可有的忙了,要在12个月内完成全流程设备调试和制程实验,争取年底出