海棠书屋 > 都市小说 > 重生之电子风云 > 章节目录 第519章 顶级制程科学家
了一宿,此刻精神 饱满,对着长桌两侧三十多双睿智专注的眼神 ,侃侃而谈道:“这些照片大家开会前都已经看过,对栅极埋入层的形貌结构心里也都有数了,我来给大家分析一下,看看和大家自己做出的分析是不是一样。”

    “首先我认为,我们这次工程流片之所以会出现大批不能读写的次品,良品率极低,主要原因虽然有湖研院目前的0.35微米实验制程不成熟,但再怎么不成熟,良品率也不能这么低,真正搞出次品的原因是因为我们的埋入晶圆的栅极扩散层形态异常。”

    会议室里大家都松了口气,尤其是目前正在攻关实验室0.35微米制程的工程师们,都觉得胡一亭这句话实在是对他们的最大安慰。

    “大家看这张电镜探伤图,左边是这次的良品,右边是这次的不合格品,左边正常形态下的埋入层扩散结构和右边的区别是很明显的,我知道大家现在一定在想,为什么会出现右边这些次品?

    问题出在哪呢?我来告诉大家,根据我的判断,这是因为我们扩散层离子注入时,因为注入机的真空度不够,从而引起埋入扩散层的氧化膜厚度中间薄周边厚,薄的部分隔离差,造成中间漏电。”

    台下工程师们有的表情恍然大悟,有的


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