感觉，但是如果现在不用的话，以后这些专利可能会被别人注册。所以，即使杀鸡用了牛刀，也先提前占坑！
光刻机在年代开始问世，一开始是接触式光刻机、接近式光刻机，到年代逐渐升级到了投影式光刻机，使得半导体工艺水平，逐渐开始代表人类最精密的加工工艺水平。到年代，光刻机再度升级到了步进式光刻机和步进式扫描光刻机。
每一次技术突破，都会使得半导体制造行业出现技术方向的选择。而选对的方向，自然是赢家通吃，而选错了方向，未来会因为技术落后，在利润更高的高端光刻机市场，失去自己的市场份额
在年代，欧美日等等国家拥有超过百家以上的企业，都是具备能力研发和生产光刻机的，甚至，就连东德曾经也是光刻机市场上的供应商。
而进入年代之后，大量的光刻机厂商开始掉队落后。欧洲的在年代初，市场占有率也不是那么高，甚至技术也不是太先进。真正让这家公司爆发，则是后来年，率先采用了浸入式光刻机。一开始，浸入式光刻机并未真正的领先，一直到年，才是利用浸入式光刻机，做到了纳米加工精度。随后，渐渐的突破纳米、纳米、纳米，让非浸入式光刻机望尘莫及！
尤其是，纳米时代