制作芯片了。
制作芯片的流程,与制作光学掩模板的过程差不多,只是更复杂。
大概要经过三百多道光学显影、化学蚀刻、离子掺杂、清洗烘干等重复步骤。
在这个过程中,因为德仪公司的0.35微米工艺还不太成熟,造成问题重重。
最尴尬的是铜互联工艺的应用,海豚科技没有芯片制造设备,当初胡伟武做实验时,只用了一片硅晶圆加一根单晶铜丝这样简单的焊接了一下,发现粘稳了,就代表实验成功。
可实际应用不是这么简单,硅晶圆上的晶体管非常细微,要远远小于单晶铜线,所以只能把单晶铜丝熔化成靶材,再用离子溅镀技术溅镀到未被光刻胶覆盖的晶体管两端区域。
在这个过程,实际上已经不是单晶铜而是高纯铜了,必须想办法使溅镀到晶体管两端的高纯铜结晶成单晶铜。
可以通过瞬间降温的办法得到单晶铜,但是这个度不好把握,必须使用专业的设备,否则失败率太高。
这就要对离子溅镀机进行改造,使之具有瞬间降温的功能,而且必须是可控的。
为了解决这个问题,德仪公司组成了一支强大的科研力量进行技术攻关。
德仪