在半导体工业中不可或缺之外,其实也已经在光伏领域用来制造非晶硅薄膜。而这一非晶硅薄膜技术其实早在1979年,就被英国的邓迪大学率先用来试制出了非晶硅tft。
有英国人帮忙指路之后,日本和欧洲的企业和科研机构开始迅速跟进,非晶硅tft驱动液晶显示屏的开发成果。但实验室试制和工业化规模生产之间。毕竟还有不小的差距,抢先开始大规模投资的夏普公司就因此踩雷了。
太阳能电池对cvd设备的洁净度要求一点也不敏感,但tft液晶对洁净度的要求甚至比半导体产业还要苛刻。所以简单的把用于光伏产业的cvd设备略加改进就用来生产tft液晶面板,得到的产品良率简直是惨不忍睹。真正可行的办法是在半导体cvd设备的基础上,在结合非晶硅镀膜技术重新研发专门的cvd设备。
泛林公司想要吞并应用材料公司,首要目的自然是获得对方在cvd设备领域的身后积累。半导体产业由于工艺精密,流程复杂,从前期晶圆制备一直到后期芯片封装测试。整条生产线使用到的设备多大几十甚至上百台。
而这其中光刻机、刻蚀设备和cvd设备这三种就占了整个半导体设备市场将近一半的销售额。泛林公司之前把大